「クライオポンプ」について- 空調用語辞典

クライオポンプ

読み：クライオポンプ （英：cryopump）

解説

真空容器内に極低温冷却面を作り、その上に気体を凝縮させることにより、 容器内の圧力を減少させるポンプのこと。冷却面材には銅、アルミニウム、 ステンレスなどが、冷却媒体には液体ヘリウムや液体水素などが用いられている。15K以下の温度の冷却面を用いて、10-10Torr が可能である。最近は小型ヘリウム冷凍機を用いたポンプも市販されている。